-
1 взрывная фотолитография
1) Engineering: lift-off photolithography2) Makarov: explosive photolithographyУниверсальный русско-английский словарь > взрывная фотолитография
-
2 взрывная фотолитография
adjelectr. Lift-off-TechnikУниверсальный русско-немецкий словарь > взрывная фотолитография
-
3 взрывная фотолитография
Русско-английский физический словарь > взрывная фотолитография
-
4 фотолитография
См. также в других словарях:
ФОТОЛИТОГРАФИЯ — способ формирования рельефного покрытия заданной конфигурации с помощью фоторезистов. Ф. обычно включает: 1) нанесение фоторезиста на металл, диэлектрик или полупроводник методами центрифугирования, напыления или возгонки; 2) сушку фоторезиста… … Химическая энциклопедия